{"language":[{"iso":"ger"}],"date_updated":"2023-12-04T08:58:58Z","type":"conference","date_created":"2022-04-22T14:14:45Z","title":"Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente","status":"public","author":[{"last_name":"Wischmeyer","first_name":"Frank","full_name":"Wischmeyer, Frank"},{"orcid":"0000-0002-6391-6548","full_name":"Schröder, Christian","id":"35809","last_name":"Schröder","first_name":"Christian"},{"full_name":"Held, Raban","last_name":"Held","first_name":"Raban"},{"full_name":"Skorupa, Wolfgang","last_name":"Skorupa","first_name":"Wolfgang"},{"full_name":"Heiland, Werner","first_name":"Werner","last_name":"Heiland"}],"citation":{"mla":"Wischmeyer, Frank, et al. “Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente.” <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>, 1995.","ieee":"F. Wischmeyer, C. Schröder, R. Held, W. Skorupa, and W. Heiland, “Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente,” in <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>, Berlin, 1995.","short":"F. Wischmeyer, C. Schröder, R. Held, W. Skorupa, W. Heiland, in: Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, 1995.","alphadin":"<span style=\"font-variant:small-caps;\">Wischmeyer, Frank</span> ; <span style=\"font-variant:small-caps;\">Schröder, Christian</span> ; <span style=\"font-variant:small-caps;\">Held, Raban</span> ; <span style=\"font-variant:small-caps;\">Skorupa, Wolfgang</span> ; <span style=\"font-variant:small-caps;\">Heiland, Werner</span>: Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente. In: <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>, 1995","chicago":"Wischmeyer, Frank, Christian Schröder, Raban Held, Wolfgang Skorupa, and Werner Heiland. “Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente.” In <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>, 1995.","apa":"Wischmeyer, F., Schröder, C., Held, R., Skorupa, W., &#38; Heiland, W. (1995). Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente. In <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>. Berlin.","ama":"Wischmeyer F, Schröder C, Held R, Skorupa W, Heiland W. Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente. In: <i>Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft</i>. ; 1995.","bibtex":"@inproceedings{Wischmeyer_Schröder_Held_Skorupa_Heiland_1995, title={Amorphisierung von 6H-SiC durch Ionenimplantationen als planare Randstruktur für Siliziumkarbidbauelemente}, booktitle={Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft}, author={Wischmeyer, Frank and Schröder, Christian and Held, Raban and Skorupa, Wolfgang and Heiland, Werner}, year={1995} }"},"_id":"1908","publication":"Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft","year":"1995","conference":{"location":"Berlin","name":"Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft"},"user_id":"220548"}