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Thin film zinc oxide deposited by CVD and PVD
F. Hamelmann, Journal of Physics: Conference Series 764 (2016).
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Erscheinungsjahr
Zeitschriftentitel
Journal of Physics: Conference Series
Band
764
Artikelnummer
012001
ISSN
eISSN
FH-PUB-ID
Zitieren
Hamelmann, Frank: Thin film zinc oxide deposited by CVD and PVD. In: Journal of Physics: Conference Series Bd. 764, IOP Publishing (2016)
Hamelmann F. Thin film zinc oxide deposited by CVD and PVD. Journal of Physics: Conference Series. 2016;764. doi:10.1088/1742-6596/764/1/012001
Hamelmann, F. (2016). Thin film zinc oxide deposited by CVD and PVD. Journal of Physics: Conference Series, 764. https://doi.org/10.1088/1742-6596/764/1/012001
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Hamelmann, Frank. “Thin Film Zinc Oxide Deposited by CVD and PVD.” Journal of Physics: Conference Series 764 (2016). https://doi.org/10.1088/1742-6596/764/1/012001.
F. Hamelmann, “Thin film zinc oxide deposited by CVD and PVD,” Journal of Physics: Conference Series, vol. 764, 2016.
Hamelmann, Frank. “Thin Film Zinc Oxide Deposited by CVD and PVD.” Journal of Physics: Conference Series, vol. 764, 012001, IOP Publishing, 2016, doi:10.1088/1742-6596/764/1/012001.
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